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淺析高溫電爐在ITO靶材燒結技術上的優勢
高溫電爐、真空電爐在靶材燒結技術方面發揮了巨大作用,氣氛可調,電爐壓力能夠調,電爐控溫精度等等長處,國內有的公司選用高本錢的熱等靜壓技術,該技術能夠強化壓制和燒結進程,降低燒結溫度,避免晶粒增大,以取得*的物理力學性能,但存在制品出產本錢較高、 出產周期長,且產品很簡單開裂,密度低一級缺陷。
有的選用氣氛燒結法,在燒結進程中經過對燒結氣氛的控制來取得高密度的ITO靶材。氣氛燒結法能大批量接連出產,本錢較熱壓法低,設備投入也少,但對ITO粉體要求較高,還要有適宜的氣氛燒結技術。
因為需求較高氣氛壓力,在高溫下具有一定的危險性,燒結本錢也較高。常壓燒結是其時日本ITO靶材燒結的干流技術,也是國內目前所竭力的方向,一些公司正在進行這方面的實驗,還沒有公司投入實習出產。
整體來看,目前國內ITO靶材出產通常都選用熱等靜壓或冷等靜壓+氣氛燒結的方法 ,產品質量不高,未打破下游行業r FT—LCD的要求方針,產品只限于出產低端的 T N導電玻璃和有些STN產品。
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